Keithley 4200A-SCS Parametric Analyzer System

Огляд

Keithley 4200A-SCS — комплексна система параметричного аналізатора для характеризації напівпровідникових приладів, яка поєднує DC I-V, ємність-напруга (C-V) та надшвидкі імпульсні вимірювання I-V. Система інтегрується з автоматизованими пробниками пластин і кріогенними контролерами температури для повного циклу тестування приладів у дослідженнях, тестуванні надійності та розробленні приладів.

Основні характеристики

• Синхронізовані вимірювання DC I-V, C-V та імпульсної I-V в одній системі
• Модуль ємності 4215-CVU з джерелом AC 1 В, діапазон частот 1 кГц до 10 МГц, дозвіл до одиниць фемтофарад
• 4200A-CVIV мультисвітч для автоматичного комутування каналів без перепідключення кабелів та підйому зондів
• Модульна архітектура SMU (джерело-вимірювального блока) з до 9 каналами для вимірювання малих струмів до фемтоампер
• Платформа програмного забезпечення Clarius з сотнями попередньо налаштованих тестів застосування та вилучення параметрів у реальному часі
• Модулі з польовою інсталяцією та додаткові підсилювачі для гнучкості вимірювання
• Повна інтеграція з системами MPI, Cascade Microtech та іншими пробниками пластин

Застосування

• Вилучення параметрів напівпровідникових приладів та аналіз відмов
• Характеризація приладів на рівні пластин та упакованих пристроїв
• Розроблення процесів та вдосконалення виходу
• Характеризація матеріалів та тестування надійності
• Тестування та аналіз приладів при кріогенних температурах